PFPE i Déantúsaíocht Leathsheoltóra: Mar a Oibríonn sé in Eitseáil Plasma & Trealamh CVD

Braitheann an próiseas déantúsaíochta leathsheoltóra ar fhíor-bheachtais agus ar dhálaí garbha oibriúcháin-folús ard, gáis chreimneach, agus luaineachtaí teochta leathana-go háirithe i gcórais eitseála plasma agus Taistil Cheimiceach Gaile (CVD). Éilíonn na timpeallachtaí seo réitigh lubrication agus séalaithe ar féidir leo ceimiceáin ionsaitheach a sheasamh, éilliú a chosc, agus feidhmíocht a chothabháil thar thimthriallta fada. Tháinig Perfluoropolyether (PFPE) chun cinn mar an caighdeán óir do chomhpháirteanna ríthábhachtacha cosúil le caidéal folúis, fáinní O{-, agus comhlaí, ag seachadadh cobhsaíocht agus iontaofacht gan mheaitseáil a mbíonn tionchar díreach aige ar tháirgeacht sliseog agus ar aga fónaimh trealaimh. Anseo thíos tá miondealú mionsonraithe ar conas a oibríonn PFPE sna príomhfheidhmchláir seo.

Is iad caidéil folúis cnámh droma na gcóras eitseála plasma agus CVD, a bhfuil gá leo chun leibhéil fholús ard (chomh híseal le 10⁻⁶ Pa) a chothabháil chun éilliú gáis a chosc agus chun sil-leagan tanaí aonfhoirmeach scannáin nó eitseáil ábhair bheacht a chinntiú. Teipeann ar olaí mianraí traidisiúnta nó bealaí sintéiseacha anseo mar gheall ar ardbhrú gaile agus éagobhsaíocht cheimiceach, ach tugann struchtúr móilíneach uathúil PFPE aghaidh ar na dúshláin ríthábhachtacha seo.

Brú Íseal Gaile le haghaidh Éillithe-Folúis Saor in Aisce: Cruthaíonn cnámh droma lánfhluairínithe PFPE bannaí C-F láidir a íoslaghdaíonn luaineacht-tá a bhrú gaile ag 40 céim faoi bhun 10⁻⁶ Torr de ghnáth, 1000 uair níos ísle ná gnátholaí . Cuireann sé seo cosc ​​​​ar ghalú bealaí agus ar thaisceadh ar dhromchlaí íogaire sliseog nó ar chomhpháirteanna optúla, rud a d'fhágfadh lochtanna ar shlí eile agus a laghdódh táirgeacht sliseanna. In eitseáil plasma, nuair is féidir le héilleáin rian fiú patrúin ciorcad a athrú, cinntíonn nádúr neamh-luaineach PFPE go bhfanann an seomra folúis gan staonadh.

Cobhsaíocht Theirmeach & Cheimiceach Faoi Strus: Gineann caidéil folúis teas suntasach le linn oibriú, agus is minic a bhíonn teocht imthacaí níos airde ná 150 céim. Coinníonn PFPE slaodacht chobhsaí thar raon teochta leathan (-65 céim go 250 céim), ag cinntiú tiús scannáin lubrication comhsheasmhach ar chomhpháirteanna rothlacha cosúil le rotors caidéil agus imthacaí. Ina theannta sin, úsáideann próisis eitseála plasma agus CVD gáis chreimneach (eg, fluairín, clóirín, amóinia) agus plasmas imoibríocha a dhíghrádaíonn bealaí caighdeánacha. Cuireann táimhe ceimiceach PFPE i gcoinne ocsaídiúcháin agus creimeadh, ag seachaint miondealú ola, foirmiú sloda, agus damáiste caidéil ina dhiaidh sin.

Meicníocht Bealaithe le haghaidh Fad saoil: Déanann PFPE scannán frithchuimilte marthanach íseal- ar dhromchlaí miotail trí asaithe fisiceach, rud a laghdaíonn caitheamh idir páirteanna gluaisteacha amhail seaftaí caidéil agus imthacaí. Murab ionann agus roghanna eile fluairínithe a d’fhéadfadh cáithníní scríobacha a ghiniúint, tá PFPE comhoiriúnach le hábhair chaidéil (cruach, alúmanam, criadóireacht) agus coinníonn sé a chuid airíonna bealaithe ar feadh tréimhsí seirbhíse leathnaithe-go minic ag cumasú “bealadh saoil” i gcóimeálacha caidéil ríthábhachtacha agus ag laghdú aga neamhfhónaimh cothabhála.

Tá fáinní O ríthábhachtach chun rónta aerdhíonacha a chothabháil i bhfolússheomraí, i línte gáis, agus i gcomhéadain trealaimh, chun sceitheadh ​​gás próisis nó aer an atmaisféir a chosc. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, bíonn dé-bhagairtí ag rónta: ionsaí ceimiceach ó gháis phróisis agus caitheamh meicniúil ó rothaíocht trealaimh arís agus arís eile. Feabhsaíonn PFPE feidhmíocht O-fáinne trí dhá phríomh-mheicníocht:

 Bealadh Dromchla & Frith-Greamaitheacht: O-Is féidir le fáinní (déanta go minic as FFKM nó PTFE ) cloí le dromchlaí cúplála faoi theocht nó brú ard, rud a fhágann go ndéantar damáiste do shéala le linn oscailt/dhúnadh trealaimh. Cótaíonn bealaí bunaithe PFPE (ramhraithe go hiondúil le PTFE ) an dromchla fáinne O le scannán íseal frithchuimilte, neamhghreamaithe a laghdaíonn comhéifeachtaí frithchuimilte suas le 50%. Coscann sé seo greamaitheacht agus íoslaghdaíonn sé strus meicniúil, ag leathnú saolré fáinne O 2-3 huaire i gcomparáid le rónta neamhlubricated nó gnáth-lubricated .

 Cosaint Rónta & Bacainn Cheimiceach: Is féidir le gáis phróiseála amhail fluairín agus aigéad hidreaclórach ábhair fáinne O a dhíghrádú le himeacht ama, rud a fhágann go gcailltear at, scoilteadh nó leaisteachas. Feidhmíonn nádúr támh PFPE mar bhacainn chosanta, ag repelling substaintí creimneach agus a chosc ó dhul isteach sa mhaitrís fáinne O-. Caomhnaíonn sé seo sraith comhbhrú agus elasticity an tséala, ag cinntiú go bhfuil feidhmíocht séalaithe comhsheasmhach fiú tar éis na mílte timthriallta próisis. I gcórais CVD, i gcás ina bhfuil gáis réamhtheachtaithe (m.sh. silane, clóiríd tíotáiniam) an-imoibríoch, cuireann fáinní PFPE lubricated O- cosc ​​ar sceitheadh ​​gáis a d’fhéadfadh cur isteach ar aonfhoirmeacht scannáin.

Rialaíonn comhlaí sreabhadh na ngás próisis, na réamhtheachtaithe, agus an fholús i gcórais eitseála plasma agus CVD, a éilíonn gníomhú beacht agus sceitheadh ​​nialasach. Éilíonn coinníollacha oibriúcháin déine-meáin chreimneacha, difreálaithe ardbhrú, agus rothaíocht go minic-bealadh a chothromaíonn lubrication agus cobhsaíocht cheimiceach.

Laghdú Frithchuimilte le haghaidh Gníomhú Beacht: Úsáideann comhlaí rónta gas, suíocháin liathróid, agus meicníochtaí geata a éilíonn gluaiseacht réidh chun sreabhadh gáis a rialú go cruinn. Cinntíonn slaodacht íseal PFPE ag teochtaí ísle agus arda araon friotaíocht íosta le linn oscailt / dhúnadh comhla, rud a chumasaíonn rialú beacht sreafa atá ríthábhachtach le haghaidh eitseáil nó sil-leagan aonfhoirmeach. Cosc ar a chomhoiriúnacht le hábhair chomhla (PTFE, cruach dhosmálta, FFKM) galling agus urghabháil, fiú tar éis na milliúin timthriallta .

Táimhe Cheimiceach & Cosc ar Éilliú: Tá comhlaí i gcórais eitseála plasma nochta do phlasma imoibríocha agus do sheachtháirgí ar féidir leo bealaí a chreimeadh, rud a fhágann go ndéantar comhlaí a ghreamú nó a sceitheadh. Cuireann PFPE i gcoinne díghrádaithe na substaintí seo, ag seachaint fotháirgí creimneach a d’fhéadfadh gáis phróisis a éilliú. Ina theannta sin, cinntíonn a nádúr neamh-luaineach nach dtéann gala bealaithe isteach sa sruth gáis, rud a chuireann cosc ​​ar éilliú sliseog. I gcórais CVD, nuair is féidir fiú le rian neamhíonachtaí comhdhéanamh scannán a athrú, tá oibriú glan PFPE riachtanach chun sláine an phróisis a chothabháil .

-Cobhsaíocht Théarma Fada i dTimthriallta Foircní: Feidhmíonn comhlaí leathsheoltóra go leanúnach i dtimpeallachtaí ardstrus, le luascáin teochta ó -40 céim (le linn fuarú sa seomra-síos) go 200 céim (le linn próiseála). Coscann cobhsaíocht theirmeach PFPE miondealú slaodachta nó soladú, rud a chinntíonn lubrication iontaofa thar gach céim oibriúcháin. Laghdaíonn sé seo cothabháil neamhphleanáilte agus leathnaíonn sé saol seirbhíse na comhla, príomhbhuntáiste coigilte costais d’áiseanna déantúsaíochta ardtoirte.

I bpróisis eitseála plasma agus CVD, bíonn tionchar díreach ag feidhmíocht bealaí agus ábhar séalaithe ar iontaofacht trealaimh agus ar cháilíocht an táirge. Is é an t-aon ábhar atá in ann freastal ar na riachtanais is déine sa tionscal mar gheall ar chomhcheangal uathúil PFPE de bhrú gaile ultra-, táimhe ceimiceach, lamháltas teochta leathan, agus cuimilte íseal. Murab ionann agus bealaí traidisiúnta a bhfuil baol éillithe, creimthe nó teip roimh am acu, cinntíonn PFPE:

 Sláine fholús comhsheasmhach agus íonacht próisis

 Saol seirbhíse sínte do chomhpháirteanna ríthábhachtacha (caidéil, comhlaí, fáinní O{-)

 Costais chothabhála laghdaithe agus downtime

 Comhlíonadh na gcaighdeán seomra glan leathsheoltóra (Aicme ISO 1-3)