Is gás é SF6, nó heicseafluairíd sulfair, a úsáidtear go coitianta in eitseáil tirim, a úsáidtear go príomha le haghaidh eitseáil sileacain sa phróiseas táirgthe leathsheoltóra. Tá struchtúr octahedral ag an ngás SF6, comhdhéanta d'adamh lárnach sulfair timpeallaithe ag sé adamh fluairín. Is gás inslithe é i dtrealamh leictreach ardvoltais de bharr a n-airíonna neamhpholacha. Áirítear le hairíonna fisiceacha SF6 gan dath, gan bholadh, neamh-inadhainte, neamh-tocsaineach, inslithe, níos troime ná aer, cumas fuaraithe, neart tréleictreach ard, cobhsaíocht theirmeach, agus droch-intuaslagthacht in uisce ach intuaslagtha i dtuaslagóirí orgánacha neamhpholacha.
I dtéarmaí airíonna ceimiceacha, is ar éigean a imoibríonn SF6 le substaintí eile ag teocht an tseomra, ach déanfaidh sé dianscaoileadh faoi sholas ultraivialait láidir.
Is iondúil go dtáirgtear SF6 ag an tionscal agus is beag an méid ábhar atá ann. Is í an chothromóid imoibrithe do tháirgeadh SF6 ná:
2 cof₃ + sf₄ + [br₂] → sf₆ {+ 2 cof₂ + [br₂]
Nuair a dhéantar SF₄, COF₃ agus Br₂ a mheascadh le chéile agus a théamh ag 100 céim, tarlaíonn imoibriú eatarthu. San imoibriú seo, imoibríonn cuid de SF₄ agus COF₃ chun SF₆ agus COF₂ a tháirgeadh. Ní chaitear bróimín san imoibriú, ní fheidhmíonn sé ach mar chatalaíoch.
An bhfuil SF6 contúirteach?
Cé go bhfuil SF6 neamh-tocsaineach ina staid íon, díláithreoidh sé ocsaigin ón aer, agus beidh tiúchan toirte níos mó ná 19% san aer ina chúis le plúchadh. Dá bhrí sin, tá sé an-tábhachtach sceitheadh SF6 a bhrath go tráthúil agus bearta coisctheacha cuí a ghlacadh sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra.
Úsáid SF6 i dtionscal leathsheoltóra
Úsáidtear SF6 go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Sa phróiseas eitseáil sileacain, baintear úsáid as SF6 mar an príomhghás eitseáil, agus oibríonn sé mar aon leis na gáis so -ghalaithe ginte SF4 agus C4F8 chun eitseáil sileacain dhomhain a bhaint amach. Ina theannta sin, is minic a úsáidtear SF6 chun miotail MO agus W a eitseáil tirim, ag freagairt leis na miotail seo chun MOF₆ agus WF₆ a ghiniúint. Cé nach é SF6 an gás is fearr le haghaidh eitseáil alúmanaim, is féidir é a úsáid mar ghás cúnta chun an ráta eitseáil alúmanaim a fheabhsú nuair a dhéantar é a mheascadh le gáis ar nós Cl₂.
Eitseáil sileacain
Sa chéim eitseáil sileacain, ní dhéantar ach an sileacain ag an mbun ina bhfuil an scannán éighníomhach a bhaint eitseáilte. Tugtar SF6 gás isteach, agus tá SF6 dícheangailte sa phlasma chun éagsúlacht táirgí dianscaoilte a ghiniúint, lena n -áirítear adaimh fluairín an -ghníomhach (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Imoibríonn na hadaimh fluairín ginte leis an dromchla sileacain chun teitreafluairíd sileacain (SiF4) a ghiniúint, comhdhúil so-ghalaithe a scaoiltear go héasca as an seomra.
Si+4F-->SiF4
Eitseáil ciseal pasivation bun
Ag an gcéim seo, cruthaítear ciseal pasivation ar an mballa taobh agus ar an mbun. Mar sin féin, ní theastaíonn uainn ach an ciseal pasivation a choinneáil ar an mballa taobh chun an balla taobh a chosaint ó bheith eitseáilte, ach ní mór dúinn an ciseal pasivation a bhaint ar an mbun chun eitse anuas. Dá bhrí sin, tabharfar isteach gás SF6 ag an am seo chun an ciseal pasivation a ionsaí ar an mbun. Tar éis an ciseal pasivation ar an mbun imithe, leanann SF6 ar aghaidh ag eitseáil an sileacain, agus athuair an timthriall é féin, cosúil le lúb gan deireadh.
Monarcha Heicseafluairíd Sulfair Sf6 Aon-stad Sa tSín
Seol d'fhiosrúchán faoi ghás heicseafluairíd SF6 sulfair chugainn!
Cuirfimid gáis agus seirbhísí ardchaighdeáin SF6 ar fáil chun freastal ar do chuid riachtanas ceannaigh.
Seol Fiosrúchán Anois
